국가 R&D 특허 조회
출원등록명 실크 피브로인과 호환되는 하드 마스크와 이의 식각액을 이용한 패터닝 방법
산업재산권 구분 특허 특허구분 출원
출원등록번호 10-2018-0029525 출원등록자 한국과학기술원
출원등록국가 대한민국 IPC 코드 H01L 21/033,H01L 21/306
성과년도 2018 NTIS 성과고유번호 PTR-2018-0029912629
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공진센서 기반의 고감도 생화학센서플랫폼 개발(Development of Highly Sensitive Resonant Chem/Bio Sensor)
과제년도
2018
과제번호
1711071791
연구기관
한국과학기술원
연구기간
2018-04-01~2019-02-28
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