연구장비 상세조회
| 제작사명 | Suss Microtec | 모델명 | MA6 |
|---|---|---|---|
| 보유기관 | 연세대학교 | 취득금액 | 258,000,000 원 |
| 표준분류 | |||
| 세부과제명 | |||
| 시설장비 설명 | ㅇAlignment system - Power : 230V/50/60Hz, - X, Y,Z, Theta alignment - Alignment gap : 0~300micron - Resolution : 1 micron - i-line/g-line ㅇConfiguration : - Alignment system, - Exposure system, - MASK holder & chuck, - Accessries ㅇApplications : - Wafer size : 4, 6, piece | ||
| 구성 및 성능 | -.Si-based semiconductor device fabrication(MOSFET, CMOS, PMOS, NMOS, MOS capacitor, Diode, MIM capacitor, Resistor, etc) -.Microelecromechanical systems (MEMS), Nanoelectromechanical systems (NEMS), etc. -.Thin film transistor (TFT), Photonics (Light emitting diode-LED, AMOLED, etc), Organic electronic devices등 미세 패턴을 포함하는 디바이스 제작에 활용가능 | ||
| 사용 예 | |||
| 문의번호 | 02-2123-7812 * 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다. |
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