연구장비 상세조회
제작사명 | Cascade Microtech | 모델명 | Summit 12000 |
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보유기관 | 광주과학기술원 | 취득금액 | 93,000,000 원 |
표준분류 | |||
세부과제명 | |||
시설장비 설명 | Probe station은 반도체 소자들에 전기적 신호를 인가 및 확인이 가능하도록 전기적 연결을 하는 장비로써 MPG (metal/piezo/graphene) 구조로 구성된 터치 소자의 전기적 특성 분석에 필요한 시스템이다. | ||
구성 및 성능 | 작게는 1인치부터 크게는 8인치 크기의 대구경 반도체 소자를 분석할 수 있게 된다. 그래핀으로 구성된 터치 소자의 경우 ambient에 영향을 받기 때문에 ambient를 조절하며 특성 분석을 할 수 있는 시스템이 구축되어야 한다. 이와 같은 장비를 이용하면 터치 소자의 전기적 특성을 정밀하게 측정 할 수 있으며 또한 온도 및 ambient를 조절할 수 있어 반도체 소자의 다양한 특성을 분석할 수 있다. | ||
사용 예 | 그래핀으로 구성된 터치 소자의 전기적 특성을 정확하게 분석하기 위해서는 측정 중에 N2 혹은 O2 분위기를 조성할 수 있어야 한다. 이러한 분위기 조절은 반도체의 정확한 특성을 분석 가능케 한다. 또한 동시에 온도를 조절하여 전기적 특성을 분석할 수 있으면 소자의 extrinsic한 특성을 분석할 수 있어지고 다양한 관점에서 분석을 시도할 수 있다. 이러한 연구는 그래핀 터치 소자들의 이해를 돕고 소자 특성 개선 및 새로운 소자 개발의 효율을 올릴 수 있을 것이다. | ||
문의번호 | 062-715-2347 * 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다. |