박막 두께 측정기 장비

박막 두께 측정기

Surface Profiler


제작사명	Kosaka	모델명	surfcorder ET 3000
보유기관	광주과학기술원	취득금액	37,534,572 원
표준분류
세부과제명
시설장비 설명	유기 반도체나 고분자 절연층 박막의 비파괴 표면 단층 분석을 높은 분해능으로 가능케 함. 또한 고분자 박막의 두께를 수 단위까지 정밀하게 측정하여 박막의 정전기적 기계적 열적 특성 분석을 보다 정밀히 수행하는데 기여함.
구성 및 성능	Max. Scan Length : 30 mm (Linear) - Max. Data Points : 60000 - Stylus Force : 0.05~10 mg (Programmable) - 2.0 um Stylus Tip Radius Standard - Color Camera with Fixed Zoom 100X - Sample Thickness : 20 mm Max. - Sample Size : 140 mm diameter Max. - Sample Translation : Manual Stage - Vertical Range : 100 um Max. - Vertical Resolution at Varying Vertical Ranges : 1 at 10 um 15 at 100 um - 30 Analytical Functions and Height Histogram - 10 Repeatability - Power 220 V 60 Hz - Intel Processor Computer with Windows XP
사용 예
문의번호	062-970-3206 * 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다.

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