나노구조체 회절특성 분석용 UV 레이저 시스템 장비

나노구조체 회절특성 분석용 UV 레이저 시스템

Analytical UV Laser System for Diffraction Properties of Nanostructure


제작사명	Crystalaser	모델명	CL-100
보유기관	경남테크노파크	취득금액	65,695,500 원
표준분류
세부과제명
시설장비 설명	파장이 매우 짧은 자외선 대역의 레이저 빔을 나노패턴에 조사하고 이때 산란되어 나오는 빛의 회절 패턴을 분석하여 검사대상 패턴의 오류유무 확인(회절 특성 분석용 광원으로 활용하여 나노패턴 오류유무를 확인가능)
구성 및 성능	Dual Wavelength UV laser: 349nm ~ 355nm combined laser with Combining optics Pulse repeat rate : 1kHz 0 Hz to 200 kHz by external trigger Separate laser control Transverse beam mode TEM00
사용 예
문의번호	* 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다.

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