연구장비 상세조회
| 제작사명 | Kosaka | 모델명 | ET200A |
|---|---|---|---|
| 보유기관 | 경남테크노파크 | 취득금액 | 75,297,150 원 |
| 표준분류 | |||
| 세부과제명 | |||
| 시설장비 설명 | 반도체 공정 중 제작된 나노/마이크로 패턴을 포함하는 시료 표면을 마이크로미터 반경의 팁을 이용하여 접촉식 스캔함으로써 시료 표면에 존재하는 단차 및 거칠기를 0.1 Å 이상의 분해능으로 측정하는 고정밀 기기 | ||
| 구성 및 성능 | - 스캔 길이: 55 mm - 스캔 속도: 10 um/초 에서 400 um/초 - 데이터 포인트 : 120,000 - 수직 범위 / 해상도: 0.38 Angstrom - Stylus 힘: 0.03 mg - 스텐 높이 측정: 1200um | ||
| 사용 예 | - 일반 기계 가공면, 금형 표면 Laser Making 검사 - 디스플레이 소자(PDP, LCD) 표면의 형상 측정 - 연질재료의 표면 형상 측정 - CVD, PVD 코팅층의 형상 측정 - GLASS 박막두께 및 표면 조도측정 | ||
| 문의번호 | * 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다. |
||
카카오톡
네이버
트위터
페이스북