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연구장비 상세조회

전계방출형 주사전자현미경
전계방출형 주사전자현미경

Field Emission Scanning Electron Microscope

시설장비등록번호
NFEC-2012-02-153758
장비구분
시험
취득일자
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제작사명 Jeol 모델명 JSM-7001F
보유기관 연세대학교 산학협력단 취득금액 296,973,572 원
표준분류
세부과제명
시설장비 설명 - 지정업체명/ 품명/ 모델명 JEOL. Ltd (일본) Field Emission Scanning Electron Microscope with NPGS (Nano Pattern Generation System이 구축된 전계방출형 주사전자현미경) JSM-7001F/EDS 주사 전자현미경(SEM)의 원리는 전자총에서 방출된 전자 빔(Electron Beam)을 집속시킨 후 시료 표면의 관찰영역을 주사하여 이때 시료표면에서 발생되는 여러가지 형태의 전자를 검출기로 감지하여 Digital화된 영상신호를 액정표시장치를 통해 표현함으로써 시료의 표면형태 및 조성에 대한 각각의 정보를 영상들을 얻어 출력할 수 있는 장비이다.
구성 및 성능 그 중 전계방사형 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다. 이러한 용도로 사용되는 FE-SEM은 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계 샘플을 넣는 시료실 신호 및 정보 검출을 위한 각종 검출기(Detector) 조작 테이블 출력 장치 등의 여러 부품으로 이루어져 있다.
사용 예 - 용도 주사 전자현미경(SEM)의 원리는 전자총에서 방출된 전자 빔(Electron Beam)을 집속시킨 후 시료 표면의 관찰영역을 주사하여, 이때 시료표면에서 발생되는 여러가지 형태의 전자를 검출기로 감지하여, Digital화된 영상신호를 액정표시장치를 통해 표현함으로써, 시료의 표면형태 및 조성에 대한 각각의 정보를 영상들을 얻어 출력할 수 있는 장비이다. 그 중 전계방사형 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해, 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다.
문의번호 02-2123-6973

* 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다.
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