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연구장비 상세조회
| 제작사명 | Tft | 모델명 | 모델명 없음 |
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| 보유기관 | 연세대학교 | 취득금액 | 8,800,000 원 |
| 표준분류 | |||
| 세부과제명 | |||
| 시설장비 설명 | PR, Polymer 등의 점성용액을 스핀 코팅하는 장치 | ||
| 구성 및 성능 | -. 웨이퍼 크기 = 6, 4, 조각 -. 최대 스핀 속도 = 5,000rpm -. Spin Motor = AC servo motor -. Dispense Nozzle, EBR, BSR = 없음. 수동 Dispense | ||
| 사용 예 | |||
| 문의번호 | 02-2123-7812 * 위 시설장비문의번호의 담당자는 아래 연구책임자와 다를 수 있습니다. |
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시설장비 과제의 성과(논문)
| No | 논문명 | 성과년도 | 학술지명 | SCI(E)구분 |
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시설장비 과제의 성과(특허)
| No | 특허명 | 성과년도 | 특허구분 | 출원등록번호 |
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